精度高,聚焦光斑最小可达10um,切割边缘无毛刺
冷加工，采用纳秒紫外激光器，冷光源,激光切割热影响区小至10um
速度快, CCD视觉预扫描，自动抓靶定位，机器人自动上下料，切劃IC指纹识别芯片，单粒耗时3S
节能环保，2万小时无耗材，机械手全自动上下料系统，节省人力成本
| 序号 | 项目 | 参数 |
|---|---|---|
| 01 | 激光器类型 | 355nm |
| 02 | 激光功率 | 15W-25W |
| 03 | 光束质量 | M²＜1.3 |
| 04 | 最小聚焦光斑直径 | 10μm |
| 05 | 加工速度 | 100-1500mm/s可调 |
| 06 | 加工材料厚度 | 1mm-2mm |
| 07 | 最大加工尺寸&精度 | 300mm*350mm,±5μm |
| 08 | 机床运动轴数&种类 | 最多8轴，XYZ轴运动 |
| 09 | 平台最大行程&速度 | 500mm*350mm,800mm/s |
| 10 | 运动平台重复精度 | ≤±1μm |
| 11 | 运动平台定位精度 | ≤±3μm |
| 12 | CCD视觉定位精度 | ±3μm |
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