激光蚀刻为干式蚀刻,加工制程简单,所有加工均由软件自动控制,产品一致性高,良率高达99%。
最小蚀刻线宽20μm,支持银浆线路和ITO一次性同时蚀刻,轻松实现单层多点电容屏传感器线路蚀刻。
CCD视觉自动寻靶,一次性可加工650mm×550mm范围,拼接精度≤±3μm。
支持多种视觉定位特征,500万像素点抓靶时间小于1秒钟,克服了印刷变形过大导致激光蚀刻偏位的问题,定位精度≤±3μm。
激光蚀刻机5万小时无耗材,免维修,使用成本低,替代黄光制程。
光学单元 | ||
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序号 | 项目 | 参数 |
01 | 激光器类型 | 532/1064nm(纳秒/皮秒可选) |
02 | 激光功率 | 20W |
03 | 光束质量 | M²<1.3 |
04 | 聚焦方式&加工头数 | 平场聚焦镜单头、双头 |
05 | 最小聚焦光斑直径 | Φ20μm/Φ10μm |
激光加工性能 | ||
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序号 | 项目 | 参数 |
01 | 加工速度 | 1000-4000mm/s |
02 | 最小蚀刻线宽 | 20μm |
03 | 蚀刻线宽精度 | ±3μm |
04 | 最大工作范围 | 650mm*650mm任意自动拼接 |
电话:0769-83131319
地址:广东省东莞市大朗镇大朗新宝二街21号
电话:15312164555
地址:苏州工业园区胜浦兴路200号8幢
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